Description
也可在狭小间隙中使用光不会发生扩散，因此不易导致光的偏转，也支持狭小间隙。
四、以“光”检测的方式 激光传感器“位置”辨别型
概要;该类型由发射器发射“激光”，并非光强度，并通过检测光接收元件上的接收位置或反光时间来检测目标物的位置信息。
原理和主要类型
三角测量式
通过改变与目标物之间的距离来改变检测元件CMOS上所聚焦的位置。使用该位置信息进行检测。
如上图所示，通过半导体激光将激光照射到目标物上。目标物的反射光会在受光镜头上聚焦，并成像在光接收元件上。距离一旦变动，聚焦的反射光角度也会改变，光接收元件上的成像位置也随之发生变化。
由于该光接收元件上的成像位置变化随目标物的移动量而变化，因此可读取成像位置的变化量，并作为目标物的移动量进行测量。
时间测量式
在发光的激光照射到物体并返回的时间内测量距离。不会影响工件的表面状态，可进行稳定检测。
检测上图中接收激光反射光的时间T，并计算距离Y。
计算公式为 2Y（往返距离）=C（光速）×T（接收反射光的时间）
3030-01460 AMAT Unit UFC-1100 10 SLM TMB
3030-01518 AMAT Unit UFC 7340 12 SLM N2
3030-01531 AMAT Unit UFC 4400 100 SCCM BCI3
3030-01539 AMAT MFC He 6SLM
3030-01650 AMAT Unit UFC 1260 50 SCCM N2
3030-01654 AMAT Unit UFC-1100 1 SLM N2
3030-01699 AMAT Unit UFC-1100 500 Sccm H2
3030-01792 AMAT Unit UFC-3020 100 SLM H2
3030-01801 AMAT FLOW STD DESIGNTD 50 SCCM O2 STEC PER 0
3030-01802 AMAT FLOW STD DESIGNTD 3000 SCCM N2 STEC – 0
3030-01803 AMAT FLOW STD DESIGNTD 3000 SCCM O2 STEC – 0
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