Description
压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量轻,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性高。
微型压力传感器具有体积微小、或超薄、防水、防油性能好等特点,广泛用于在空气动力学研究、生物医学应用,化爆或核爆冲击波等许多研究领域中。
◇量程范围广;
◇固有频率高;
◇体积小,高频动态响应;
◇动态压力传感器,微型压力传感器最小直径为2.54mm,长度为3.77mm
◇精度高,最高可做到0.1%FS;
◇温度范围宽,从低温-40℃到高温+120℃(特殊可到+175℃)。
◇长期稳定性好,耐各种恶劣环境。
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